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Special process
特殊製程
微孔精密加工
— 高轉速加工母機進行微孔精密加工，並透過放大投影量測檢驗孔徑大小。
陽極處理
— 低溫硫酸硬陽極處理
— 高溫DI水封孔處理
膠合處理
— class 1000潔淨室下進行膠合作業
— 膠合後進行剪力及扭力測試
熱噴塗
— 已噴塗氧化鋁、氧化鋯、氧化釔等粉末，其他材料熱噴塗，歡迎隨時洽詢。
模擬測試
— 模擬PECVD及WCVD製程環境，以驗證自製Heater溫度的穩定性。
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