產品
CVD Shower Plate
CVD Heater
CVD Chamber Kits
Susceptor
Retaining Ring
Collimator
Ceramic Susceptor
Etch G.D.P.
Etch Side Trays
技術
Electrostatic Chuck(ESC)
產品
Product
Collimator
‧材質:
不銹鋼 / 鈦+鉬噴塗
‧
尺寸:
150mm、200mm、300mm
‧
說明:
可供應PVD設備使用之Collimator,新設計採用不銹鋼材料,可有效節省使用成本
台南市南部科學工業園區環東路一段320號
電話:886-6-5053050 | 傳真:886-6-5053070
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